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規格

相鄰兩測量面垂直度

測量面垂直度

相對測量面平行度

精度等級(微米)

00

0

00

0

00

0

200×200

2

4

0.9

1.8

2

4

250×250

2.2

4.5

1

2

2.2

4.5

315×315

2.6

5.2

1.1

2.3

2.6

5.5

400×400

3

6

1.3

2.6

3

6

500×500

3.5

7

1.5

3

3.5

7